随着半导体行业的快速发展,全球晶圆制造企业正面临着日益严峻的用工挑战。尤其是在8寸晶圆生产线中,传统的物料搬运方式依赖大量人工操作,不仅效率低下,还容易导致晶圆破损和污染。为了解决这一难题,优艾智合的OW8晶圆盒搬运机器人已在全球知名晶圆制造企业TSMC、中芯国际、华天科技等近百家全球知名、国内头部的半导体企业中实现规模化应用,成为半导体物流自动化领域的重要推动力。
在某国际头部晶圆厂的8寸晶圆车间,优艾智合成功部署了50+台OW8晶圆盒搬运机器人,实现了从光刻到清洗全流程的自动化物流。该项目所在的8寸晶圆车间生产流程复杂,涉及光刻、蚀刻、清洗等多个工艺段,SMIF POD需要在Intra-Bay和Inter-Bay之间反复流转。传统的人工搬运方式不仅工作强度大,还面临着招工难、人力成本高等问题。优艾智合通过OW8机器人集群,成功替代了人工搬运环节,实现了SMIF POD在设备间的自主上料、下料和物料配送。
OW8机器人采用高精度SLAM导航技术,能够在复杂的车间环境中自主避障和路径规划。其独特的四面开口底盘设计,使得设备维护更加便捷,维修时间缩短60%以上。此外,机器人还配备了专利减震机构,确保运输过程中的振动值控制在0.1g以下,有效降低了晶圆破损率。
在实际运行中,OW8机器人集群表现出色。单台机器人日均处理物料超过240次,整个系统单日物料处理量突破12,000次,完全满足了工厂7×24小时连续生产的需求。通过与工厂MES系统的深度对接,优艾智合自研的TMS(运输管理系统)实现了物料流转的全流程追溯,进一步提升了生产管理的透明度和效率。
除了在该国际头部晶圆厂的成功应用,优艾智合的OW8机器人还在全球知名晶圆制造企业TSMC、中芯国际、华天科技等近百家全球知名、国内头部的半导体企业中实现了规模化部署。
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